Conception et reconditionnement de systèmes de distribution de gaz industriel. Conception de "gas-box" pour les Implanteurs ionique ou autres équipements de Micro-électronique. Adaptation en fonction de vos besoins: Lignes de gaz supplémentaire ou à source liquide. Modification pour adaptation de bouteilles de différentes tailles ou de bouteilles supplémentaires. Service de réparation: Banc test / Détecteur de fuite Hélium.
Conception et reconditionnement de joints tournants ferrofluidique. Ferrofluidic seals pour Implanteurs ionique, fours verticaux de diffusion, CVD, etc. Conception de joints tournants ferrofluidique selon cahier des charges (Pression / Vide / Environnement agressif / Vitesse de rotation...). Service de réparation; Banc test statique et dynamique.
Ingénierie Mécanique. Enceinte sous vide secondaire et ultravide. Ligne de faisceau d'ions. Automatisme de chargement de substrats. Passages rotatif sous vide. Porte substrats chauffant à résistance ou à lampes halogène. Porte substrats refroidit par azote liquide ou par système cryogénique. Test de fuite hélium.
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High Temperature removable Platen.
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